teg-process-diagnosis

工程診断TEG測定

TEG(Test Element Group):
要素プロセス単位、デバイス機能単位に性能、特性評価を行えるようにした基本となる素子

概要

基本プロセス工程の問題点の把握及び、基本デバイスの性能、特性ばらつき検証、欠陥密度の把握が出来る。
評価結果のフィードバックによるプロセス、デバイスの改善、歩留まり向上が図れる。

測定装置

テスターとプローバーの組み合わせにより抵抗,電流,電圧計測

測定項目詳細

オープンショート欠陥、抵抗、抵抗分布、欠陥密度、接合リーク

測定MAP / 電流地測定累積グラフ / 測定装置

お問い合わせ

TEL:029-270-1797
FAX:029-270-1540

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