ebac

EBAC解析

EBAC : Electron Beam Absorbed Current (電子ビーム吸収電流)

概要

  • 配線に照射・吸収された電子ビーム電流が断線・高抵抗部で分流される現象を利用。
  • 照射された電子ビームは、断線・高抵抗部よりGND側には流れずアンプ側に流れる。
  • 高抵抗部を境にコントラストが発生し、不良位置の特定が出来る。

解析装置

SEMとプロービングユニットの組み合わせにより吸収電流を計測し二次電子像と統合し断線部を特定

EBAC像
EBAC原理図
EBAC像

お問い合わせ

TEL:029-270-1797
FAX:029-270-1540

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