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固体体材料分析

ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング株式会社(旧ルネサス那珂セミコンダクタ 分析センタ) 化学分析では、さまざまな材料の分析が可能です。

5.固体材料分析

5.1 防塵服の分析 5.2 FT-IR法

5.1 発塵異物評価法

分析方法

例:発塵性試験方法(SEMI G67-0996に準じた方法)

発塵異物評価法

 分析結果例:発塵試験結果

測定粒径 サンプルA サンプルB
揉み試験 引き裂き
揉み試験
揉み試験 引き裂き
揉み試験
0.1μm以上 140 820 1,620 3,040
0.3μm以上 110 590 1,030 2,120
0.5μm以上 83 460 790 1,700

ケ/f3


5.1 防塵服の分析

分析方法

例:評価部位を採取し、溶出法により付着している不純物量を測定します

防塵服の分析

 分析結果例:付着物の溶出試験結果

測定成分 クリーニング後 着衣1週間後
腕部 腹部 腕部 腹部
無機
イオン
Cl- 46 53 2,400 250
F- <0.2 <0.2 20 1.0
NH4+ 1.1 0.8 170 160
金属 Fe 0.4 0.4 0.4 1.4
Zn 9.1 4.9 160 6.7
Na 37 32 1,200 130

ng/cm2

ご要望によって、様々な評価が可能です。詳細についてご相談願います。

5.2 FT-IR法

概要

赤外線を照射しその吸収量から化合物の定量分析や構造分析をします。
部品の材質の同定や異物の成分分析が可能です。

方法

測定に適した形にサンプルを加工し、最適な測定モードで分析を行います。
取得したチャートをライブラリ検索して、成分を同定します。

測定
モード
測定イメージ 用途
透過 透過 ・石英ガラス中のOH基濃度分析
・ウェハ膜質分析
ATR ATR反射 ・材料の材質分析
顕微反射 顕微透過 ・微小異物の同定
・ウェハのパッド異物の同定
顕微透過
顕微透過 顕微反射
赤外顕微鏡ユニット
FT-IR
分析事例

【特徴】

  • 顕微鏡測定により数十μmの微小異物の分析が可能です。
  • 半導体関連の材料を幅広く分析しており、豊富なライブラリーにより依頼サンプルの定性分析が可能です。
  • ウェハのPad上の異物分析が得意です。

お問い合わせ

TEL:029-270-1797
FAX:029-270-1540

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