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純水・薬液分析

ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング株式会社(旧ルネサス那珂セミコンダクタ 分析センタ) 化学分析は、純水・薬液の高感度分析が得意です。

4.純水・薬液分析

 4.1 直接測定法

4.1 直接測定法

概要

純水及び薬液中のイオン性無機不純物や金属不純物を分析します。

方法

測定成分に対応した洗浄済みの専用容器にサンプリングし、イオン性無機不純物をイオンクロマトグラフ、金属不純物をICP-MSで測定します。

直接測定法

 【分析感度】

純水分析
陰イオン Cl- 1 金属 Fe 0.5
NO2- 2 Cu 0.5
NO3- 2 Ni 0.5
SO42- 2 Cr 0.5
F- 1 Na 1
陽イオン NH4+ 2 K 1
ドープ元素 B 10 Ca 1
P 10 Al 0.8

ppt(pg/ml)

【特徴】

  • クリーンルームで実施、また半導体工場の超純水を使用しているため、高感度分析が可能です。
  • 金属は、純水及び5%以下の酸の測定が可能です。
  • 5%以上の酸、有機溶剤は前処理を行なうことで測定可能です。

4.2 直検SEM法

概要

純水中に含まれる微粒子数を計測します。
0.05μmまでの異物を計測可能です。

方法

純水供給ラインのポートに専用ホルダを設置し、フィルタをセットします。
必要量の純水を通水し、フィルタを回収します。
トラップした微粒子を走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて観察し数を計測します。

直検SEM法

【特徴】

  • 大流量をフィルタリング可能なので高感度(0.1個/mlレベル)の測定が可能です。
  • 目的の粒径に応じてフィルタの径を選択できます。

お問い合わせ

TEL:029-270-1797
FAX:029-270-1540

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