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建屋・装置構成材料分析

ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング株式会社(旧ルネサス那珂セミコンダクタ 分析センタ)  化学分析では、さまざまな材料の分析が可能です。

3.建屋・装置構成材料分析

3.1 アウトガス試験法 3.2 スミア法 3.3 溶出試験評価法 3.4 パッシブ法 3.5 含有量評価法

3.1 アウトガス試験法

概要

ケース材料、建築構成材料などのアウトガス成分を評価します。

方法

揮発試験容器内に材料を入れ、容器内にガスを通気し、目的温度に容器を加熱します。
揮発したアウトガスをインピンジャ又は吸着剤入り吸着管で捕集します。
インピンジャ捕集した液をイオンクロマトグラフでイオン性無機不純物、ICP-MSで金属不純物を測定します。
吸着管はGC/MSで有機物を測定します。

アウトガス法

 【分析感度】※

成分 ng/m3・g
無機
イオン
不純物
陰イオン Cl-・NO2-・SO42- 0.2~2
有機酸 酢酸・ギ酸 0.4~4
陽イオン NH4+ 0.2~2
アミン類 (CH3)2NH4+ 0.4~4
金属
不純物
ドープ元素 B, P 0.05
金属 Fe, Zn 0.01

 ※採取量:1,000L サンプル重量5gの場合

成分 ng/g
有機
不純物
沸点別 2~20
シロキサン類※1 D3・D4・D5・D6 0.5~3
フタル酸エステル類※2 DEP・DBP・DOP 0.1~0.5
酸化防止剤※3 BHT 0.1~0.5

 ※サンプル重量:1gの場合

※1 シロキサン類
D3:ヘキサメチルシクロトリシロキサン
D4:オクタメチルシクロテトラシロキサン
D5:デカメチルシクロペンタシロキサン
D6:ドデカメチルシクロヘキサシロキサン

※2 フタル酸エステル類
DEP:フタル酸ジエチル
DBP:フタル酸ジブチル
DOP:フタル酸ジ-(2-エチルヘキシル)

※3 酸化防止剤
BHT:ブチルヒドロキシトルエン

【特徴】

  • 各種材料を同一条件で測定可能です。
  • 通気ガス種、温湿度など、実使用条件に近い条件で評価可能です。
  • 単位は条件によって変更できます。

3.2 スミア法

概要

分析対象(壁材、装置等)に付着したイオン性無機不純物、金属不純物を分析します。

方法

汚染量の少ないふき取り材を使用して、分析対象に付着した不純物をふき取ります。
ふき取った不純物を抽出してイオンクロマトグラフでイオン性無機成分、ICP-MSで金属不純物を測定します。

スミア法

 【分析感度】※

成分 ng/cm2
陰イオン Cl-, F- <0.3
NO2-, NO3- <0.1
SO42-, PO43- <0.1
有機酸 酢酸 等 <0.5
陽イオン NH4+ <0.4
金属
不純物
Fe,Zn <0.05
Cu,Ni,Cr <0.05
Na,K,Ca <0.1

 ※ふき取り面積:900mm2(30×30㎜)の場合

【特徴】

  • 清浄なふき取り材使用により、ng/cm2オーダの汚染量評価が可能です。
  • クリーンルームの壁や柱、装置の壁面に付着した成分が測定可能です。

3.3 溶出試験評価法

概要

クリーンルーム構成材料、ケース材料、建築構成材料などの溶出物を評価します。

方法

清浄な処理袋に目的材料と抽出液を入れ、加熱抽出します。
その液をイオンクロマトグラフでイオン性無機不純物を、ICP-MSで金属不純物を測定します。

溶出試験評価法

 【分析感度】

成分 ng/サンプル
無機
イオン
不純物
陰イオン Cl- <10
NO2- <20
SO42- <10
有機酸 酢酸・ギ酸 <20
陽イオン NH4+ <20
アミン類 (CH3)2,NH4+ <20
金属
不純物
ドープ元素 B, P <1
金属 Fe, Zn <0.5

 ※サンプル重量:10gの場合

【特徴】

  • 処理袋と抽出液により、任意の材料の評価が可能です。(低濃度:サブppbオーダ~高濃度:ppmオーダ)
  • 任意の大きさの材料評価が可能です。(最大30cm角で厚み10cm)

3.4 パッシブ法

概要

ウェハケース、レチクルケースなど密閉容器内の有機アウトガスを評価します

方法

クリーンルーム内で評価するケース内にTENAX吸着剤を入れ、アウトガス成分(特に有機不純物)を吸着させます。
吸着剤をGC/MSで測定します。

パッシブ法

 【分析感度】※

成分 ng/サンプル
有機
不純物
沸点別 0.5~20
シロキサン類※1 D3・D4・D5・D6 0.2~1
フタル酸
エステル類※2
DEP・DBP・DOP 0.1~1
リン酸
エステル類※3
TCEP・TPP・TCP 0.2~1
酸化防止剤※4 BHT 0.2~1

 ※放置時間24Hrの場合

※1 シロキサン類
D3:ヘキサメチルシクロトリシロキサン
D4:オクタメチルシクロテトラシロキサン
D5:デカメチルシクロペンタシロキサン
D6:ドデカメチルシクロヘキサシロキサン

※2 フタル酸エステル類
DEP:フタル酸ジエチル
DBP:フタル酸ジブチル
DOP:フタル酸ジ-(2-エチルヘキシル)

※3 リン酸エステル類
TCEP:リン酸トリス(2-クロロエチル)
TPP:リン酸トリフェニル
TCP:リン酸トリクレジル

※4 酸化防止剤
BHT:ブチルヒドロキシトルエン

【特徴】

  • ケースを閉じた状態で放置するので、環境の影響を抑えることができます。
  • ウェハ・レチクルに悪影響を及ぼす成分量を評価できます。
  • 吸着剤を直接暴露させるので、高感度で評価できます。

3.5 含有量評価法

概要

建屋材料や装置部品に含まれる金属不純物を分析する方法です。

方法

サンプルの材質に応じた前処理を実施し、処理液をICP-MSなどで測定します。

含有量評価法

【分析感度】

溶融石英材 樹脂材料
Fe 0.01 0.01
Cu 0.01 0.01
Ni 0.01 0.01
Cr 0.01 0.01
Zn 0.01 0.05
Na 0.01 0.05
K 0.01 0.05
Ca 0.01 0.05
Al 0.01 0.05

ppm(μg/g)

【特徴】

  • 前処理から測定までの一連の作業をクリーンルームで実施しています。また超純水を使用しているため、E8オーダの高感度分析が可能です。
  • 多種の前処理が可能で、様々な材料の分析が可能です。

お問い合わせ

TEL:029-270-1797
FAX:029-270-1540

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