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雰囲気分析

ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング株式会社(旧ルネサス那珂セミコンダクタ 分析センタ) 化学分析は、雰囲気の高感度分析が得意です。

1.雰囲気分析

 1.1 インピンジャ捕集法 1.2 吸着管捕集法 1.3 試料片による暴露試験法

1.1  インピンジャ捕集法

概要

クリーンルーム、装置内、局所エリア、ガス(ドライエア、窒素ガス等)中のイオン性無機、金属不純物を分析します。

方法

インピンジャと呼ばれる石英容器内に捕集液を入れ、吸引ポンプで一定時間雰囲気を吸引し、純水に雰囲気中の不純物をバブリング捕集させます。
その捕集液をイオンクロマトグラフでイオン性無機不純物(Cl-,NH4+等)やICP質量分析装置(ICP-MS)で金属不純物(Na,K等)を測定します。

インピンジャ捕集法

 【分析感度】※

成分 ng/m3 ppb(vol.)
陰イオン Cl-, F- <5 <0.005
NO2-, NO3- <10 <0.005
SO42-, PO43- <10 <0.003
有機酸 CH3COOH 等 <10 <0.003
陽イオン NH4+ <10 <0.02
アミン類 (CH3)2NH4+ <20 <0.01
金属 B,P <5 <0.01
Fe,Zn <2 <0.0003
Cu,Ni,Cr <0.5 <0.0003
Na,K,Ca <1 <0.001

※雰囲気採取量:1,440Lの場合

【特徴】

  • 汚染の少ない機材の使用により、ng/m3レベルの分析が可能です。
  • 測定対象物の吸着が無いチューブを使用することにより、極少エリアやガス(ドライエア、窒素ガス等)の評価が可能です。

1.2 吸着剤捕集法

概要

クリーンルーム、装置内、局所エリア、ガス(ドライエア、窒素ガス等)中の有機不純物を分析します。

方法

吸着剤(主にTENAX)を入れた吸着管に吸引ポンプを用いて、雰囲気を通気して有機不純物を捕集します。
その吸着管をGC/MS(ガスクロマトグラフ/質量分析計)で測定します。

吸着剤捕集法

 【分析感度】※

成分 ng/L ppb(vol.)
沸点別 - <0.05~0.3 <0.004~
0.03
シロキサン類 D3,D4 等 <0.05~0.2 <0.005~
0.01
フタル酸
エステル類
DEP,DBP 等 <0.05~0.1 <0.01~0.02
リン酸
エステル類
TCEP 等 <0.05~0.1 <0.01~0.02

※雰囲気採取量:30Lの場合

【特徴】

  • 吸着剤を変えることにより、様々な有機物の捕集が可能です。
  • 測定対象物の吸着が無いチューブを使用することにより、極少エリアやガス(ドライエア、窒素ガス等)の評価が可能です。
  • GC/MSのライブラリ検索機能により有機成分の定性分析が可能です。

1.3 試料片による暴露試験法

概要

清浄な材料を測定したい環境に暴露し、暴露した試料片に付着した成分を分析します。

方法

ウェハ、シリコン単板、石英板等の試料片を測定したい環境に暴露し、付着したイオン性無機不純物をイオンクロマトグラフ、金属不純物をICP-MS、有機不純物をGC/MSで測定します。

試料片暴露法

 【分析感度】※

成分 ng/ウエハ
無機
イオン
不純物
陰イオン Cl-, F- <5
NO2-, NO3- <10
SO42-, PO43- <10
有機酸 CH3COOH 等 <10
陽イオン NH4+ <10
アミン類 (CH3)2NH4+ <20
金属
不純物
B, P <5
Fe, Zn <0.2
Cu, Ni, Cr <0.1
Na, K, Ca <1
有機
不純物
沸点別 - <1~100
シロキサン類 D3,D4 等 <0.5~5
フタル酸
エステル類
DEP,DBP 等 <1~100
リン酸
エステル類
TCEP 等 <1~100
酸化防止剤 BHT 等 <1~100

※ 単位時間当たりにφ200ウェハ使用、放置時間:24hr

【特徴】

  • 評価目的・分析感度に応じて、放置材料など評価条件の選定が可能です。
  • ご要望に応じた単位に換算して、分析値をご報告します。

1.4 異物捕集法

概要

クリーンルームや装置内の雰囲気中の浮遊粒子状物質(パーティクル)をフィルタ上に捕集し、付着したパーティクルの定性分析します。

方法

評価場所の雰囲気をフィルタに通気して、発光分析装置やSEM-DEX測定でフィルタに捕集したパーティクルの定性分析を行います。また、フィルタの酸抽出を実施し、金属量をICP-MS等で分析します。

異物捕集法

 【分析結果例】

発光分析法による粒径別、成分分析結果

【特徴】

  • 装置内局所や特定の部位の雰囲気の採取が可能です。
  • 発光分析による測定は、パーティクル粒径別の成分分析の他に成分別の粒径分布の評価が可能です。

お問い合わせ

TEL:029-270-1797
FAX:029-270-1540

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