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化学分析 ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング㈱
        (旧ルネサス那珂セミコンダクタ 分析センタ 受託分析)

化学分析の主な項目と方法を紹介します。
ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング株式会社(旧ルネサス那珂セミコンダクタ 分析センタ) 化学分析では、下記のような分析の受託を行っており、短納期、低コストで対応いたします。

化学分析・評価技術の特徴

最先端量産ラインでの経験をベースに,半導体プロセス関連の分析・評価を得意としております。

対象 分析感度 特徴
クリーンルーム・装置内雰囲気 0.1~10 ng/m3 ≒ ppt ・インピンジャ捕集法によるイオン性無機・金属不純物・イオン性
 無機不純物分析
・吸着剤捕集法,Si単板法による有機不純物分析
・異物捕集法による異物の元素分析
ウェハ E8~E10 atoms/cm2 ・表面,膜中,片面,スポット等の高感度金属分析が可能
・袋溶出試験法によるイオン性無機不純物の高感度分析
0.01~1 ng/cm2 ・昇温脱ガス装置を用いた有機汚染分析が可能
建屋材料,装置構成部材 ppt~ppm ・材料からの有機成分,イオン性無機成分アウトガス分析
・材料の溶出イオン性無機・金属不純物分析
・使用条件に近い環境での擬似実機評価が可能
薬液,純水 ppt~ppb ・半導体使用薬品の不純物分析
・純水中の有機・イオン性無機・金属不純物高感度分析
・純水中の微粒子数測定
固体材料 ppb~ppm ・石英やSiC中の金属不純物分析
・クリーン紙などの発塵異物評価

お問い合わせ

TEL:029-270-1797
FAX:029-270-1540

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